深圳新聞網(wǎng)2025年11月13日訊（記者 胡津瑋）11月12日，全國(guó)產(chǎn)業(yè)計(jì)量融合創(chuàng)新發(fā)展會(huì)議在湖南衡陽(yáng)召開。會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)發(fā)布了市場(chǎng)監(jiān)管總局和工信部聯(lián)合開展的“計(jì)量支撐產(chǎn)業(yè)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展2025年度十大重點(diǎn)項(xiàng)目”，深圳檢測(cè)院牽頭承擔(dān)的“納米級(jí)工業(yè)CT檢測(cè)裝置研制”入選十大重點(diǎn)項(xiàng)目之一。

瞄準(zhǔn)“卡脖子”難題 攻堅(jiān)納米級(jí)精密檢測(cè)

高端芯片與集成電路產(chǎn)業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。隨著先進(jìn)封裝技術(shù)發(fā)展，納米級(jí)工業(yè)CT成為產(chǎn)品質(zhì)量保障的關(guān)鍵檢測(cè)裝備。當(dāng)前，國(guó)內(nèi)相關(guān)裝備高度依賴進(jìn)口，國(guó)產(chǎn)化裝備空白導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)面臨“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。

深圳檢測(cè)院承擔(dān)的“納米級(jí)工業(yè)CT檢測(cè)裝置研制”項(xiàng)目，在自主研發(fā)的“平面掃描成像工業(yè)CT設(shè)備”基礎(chǔ)上推進(jìn)?，F(xiàn)有設(shè)備可在數(shù)秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)芯片封裝、電路板等產(chǎn)品內(nèi)部三維結(jié)構(gòu)的快速重建與缺陷識(shí)別，最高分辨率達(dá)1微米，目前該設(shè)備已在多家企業(yè)與科研機(jī)構(gòu)投入應(yīng)用。為進(jìn)一步滿足高端芯片微納結(jié)構(gòu)檢測(cè)需求，服務(wù)我國(guó)高端集成電路與先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)，深圳檢測(cè)院積極推進(jìn)“納米級(jí)工業(yè)CT檢測(cè)裝置研制”。項(xiàng)目將引入AI技術(shù)，突破納米級(jí)分辨力成像、全自動(dòng)缺陷識(shí)別與智能分析及控制軟件等關(guān)鍵技術(shù)，研制形成百納米級(jí)高分辨工業(yè)CT檢測(cè)裝置，同時(shí)建立配套計(jì)量檢測(cè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范，形成從核心裝備到系統(tǒng)解決方案的全鏈條支撐能力。

全力推進(jìn)研制 服務(wù)新質(zhì)生產(chǎn)力

此次項(xiàng)目入選，標(biāo)志著深圳檢測(cè)院在高端計(jì)量裝備領(lǐng)域的研發(fā)能力獲國(guó)家認(rèn)可。下一步，深圳市市場(chǎng)監(jiān)督管理局將指導(dǎo)深圳檢測(cè)院加快項(xiàng)目實(shí)施，推動(dòng)裝備工程化與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，持續(xù)強(qiáng)化計(jì)量檢測(cè)對(duì)科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級(jí)的基礎(chǔ)支撐與戰(zhàn)略引領(lǐng)，為提升國(guó)產(chǎn)高端裝備自主創(chuàng)新能力、培育產(chǎn)業(yè)新質(zhì)生產(chǎn)力注入強(qiáng)勁動(dòng)能，以實(shí)際行動(dòng)服務(wù)國(guó)家戰(zhàn)略，助力經(jīng)濟(jì)社會(huì)高質(zhì)量發(fā)展。